特許
J-GLOBAL ID：200903095452804910
ウェハバーンイン方法およびバーンインジグ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-285361
公開番号（公開出願番号）：特開2001-110859
出願日： 1999年10月06日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：
【要約】【課題】 ウェハへの接触針を立てる数を大幅に削減し、接触針を立てるコストを下げることができるように改良されたバーンイン方法を提供することを主要な目的とする。【解決手段】 ウェハ1上に、はんだワイヤーを用いてバーンイン用の仮配線30を形成する。仮配線30を用いてバーンイン試験を行なう。バーンイン試験後に仮配線30を加熱溶融し、それによって仮配線30を切断すると同時に、ウェハ1上に、はんだバンプ電極を形成する。
請求項（抜粋）：
ウェハ上に、はんだワイヤーを用いてバーンイン用の仮配線を形成する工程と、前記仮配線を用いてバーンイン試験を行なう工程と、前記バーンイン試験後に、前記仮配線を加熱溶融し、それによって、該仮配線を切断すると同時に、前記ウェハ上に、はんだバンプ電極を形成する工程と、を備えた、ウェハバーンイン方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/66 H
, G01R 31/28 V
2G032AB02
, 2G032AF02
, 2G032AK04
, 2G032AK11
, 2G032AL05
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106BA14
, 4M106CA56
, 4M106DH60
, 4M106DJ32
, 4M106DJ38
