特許
J-GLOBAL ID:200903095511360460

圧電部材

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-230274
公開番号(公開出願番号):特開2002-043645
出願日: 2000年07月31日
公開日(公表日): 2002年02月08日
要約:
【要約】【課題】研削や研磨等の加工によって加工表面にできる加工傷やマイクロクラック等の発生を抑えるとともに、加工圧力や加工熱による分極の度合いが低下することを防止し、圧電セラミック体が持つ本来の圧電特性を発揮することができる圧電部材を提供する。【解決手段】圧電セラミック体2の各表面に研削や研磨等の加工を施してなり、対向する加工表面に電極3,3を備え、該電極3,3間に分極処理を施した圧電部材1において、上記分極方向に対して垂直な表面である上下の表面2a,2aをそれぞれX線回折にて測定した時の正方晶200回折のピーク強度Aと正方晶002回折のピーク強度Bとの比(A/B)が1.5以下、上記分極方向と平行な表面である側部の表面2bをX線回折にて測定した時の正方晶002回折のピーク強度Bと正方晶200回折のピーク強度Aとの比(B/A)が1.5以下となるようにする。
請求項(抜粋):
研削加工や研磨加工を施した少なくとも一つの加工表面を有する圧電セラミック体の対向する表面にそれぞれ電極を備え、上記電極間に分極処理を施した圧電部材において、上記加工表面が分極方向に対して垂直な表面である時には、上記加工表面をX線回折にて測定した時の正方晶200回折のピーク強度Aと正方晶002回折のピーク強度Bとの比(A/B)が1.5以下であり、上記加工表面が分極方向に平行な表面である時には、上記加工表面をX線回折にて測定した時の正方晶002回折のピーク強度Bと正方晶200回折のピーク強度Aとの比(B/A)が1.5以下であることを特徴とする圧電部材。
IPC (4件):
H01L 41/09 ,  B41J 2/16 ,  G01P 15/09 ,  G01C 19/56
FI (4件):
G01P 15/09 ,  G01C 19/56 ,  H01L 41/08 C ,  B41J 3/04 103 H
Fターム (10件):
2C057AF93 ,  2C057AG39 ,  2C057AG44 ,  2C057AP14 ,  2C057AP22 ,  2F105BB02 ,  2F105BB04 ,  2F105CC04 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開昭55-080202
  • 圧電素子
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-354405   出願人:株式会社豊田中央研究所
  • 特開昭55-042204
引用文献:
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