特許
J-GLOBAL ID:200903095545684779
振動型角速度センサ
発明者:
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出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
菅原 正倫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-018500
公開番号(公開出願番号):特開2004-317484
出願日: 2004年01月27日
公開日(公表日): 2004年11月11日
要約:
【課題】 2つの振動型センサユニットの差分波形を出力する角速度センサ構造において、個々のセンサの角速度検出波形に現われる同相成分のバラツキひいては差分波形に残留する同相成分ノイズレベルを、その要因によらず縮小することができ、角速度検出精度を高めることができる振動型角速度センサを提供するした波形のエッジ位相のばらつきも生じにくい磁気センサの調整方法を提供する。【解決手段】 角速度検出方向yにおいて第一及び第二のセンサユニット100,200の振動子4a,4bに作用する同相成分を相殺するために、第一の角速度検出波形J1と第二の角速度波形J2との差分波形を演算する差動増幅回路22を設ける。そして、得られる差分波形における同相成分の残留を縮小するために、差動増幅回路22に入力する第一の角速度検出波形J1の入力ゲインと、第二の角速度検出波形の入力ゲインJ2との少なくとも一方を調整する入力ゲイン調整回路31,32を設ける。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
予め定められた基準振動方向に振動する振動子と、前記振動子に角速度が加わるに伴い、前記基準振動方向と交差するように定められた角速度検出方向への角速度振動成分を検出し、該角速度振動成分に基づいて角速度検出波形を生成する検出波形生成部とをそれぞれ備え、かつ前記振動子を前記基準振動方向において互いに逆位相にて振動させることにより、前記角速度検出波形を、互いに位相反転した第一及び第二の角速度検出波形として生成する第一及び第二のセンサユニットと、
前記角速度検出方向において前記第一及び第二のセンサユニットの各前記振動子に作用する同相成分を相殺するために、前記第一の角速度検出波形と前記第二の角速度波形との差分波形を演算する差分波形演算手段と、
前記差分波形における前記同相成分の残留を縮小するために、前記波形差分演算手段に入力する前記第一の角速度検出波形の入力ゲインと、前記第二の角速度検出波形の入力ゲインとの少なくとも一方を調整する入力ゲイン調整手段と、
を備えたことを特徴とする振動型角速度センサ。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (7件):
2F105AA02
, 2F105BB03
, 2F105CC04
, 2F105CC11
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD11
引用特許:
出願人引用 (1件)
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角速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-337437
出願人:株式会社村田製作所
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