特許
J-GLOBAL ID：200903075251566750

角速度センサ

発明者：
吉野 彰悟

吉野 彰悟 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (1件)： 岡田 全啓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-337437
公開番号（公開出願番号）：特開2001-153659
出願日： 1999年11月29日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：
【要約】【課題】 印加された角速度によって静電容量が変化するセンサ素子を用いた角速度センサにおいて、感度ばらつきが小さく、検出確度が高く、安価に製造することができる、角速度センサを得る。【解決手段】 角速度センサ50は、印加された角速度によって出力端38部分の静電容量が変化するセンサ素子10を含む。センサ素子10の出力端38に、オペアンプ54と帰還抵抗56と基準電圧源58とからなる静電容量検出回路52を接続する。このとき、オペアンプ54のイマジナリショートにより、センサ素子10の出力端38に基準電圧源58と等しい電圧が、バイアス電圧として与えられる静電容量検出回路52の出力端をACアンプ60に接続し、さらに同期検波回路62、ローパスフィルタ64に接続する。
請求項（抜粋）：
印加された角速度によってその静電容量が変化するセンサ素子と、前記センサ素子の静電容量の変化を検出するための静電容量検出回路とを含む角速度センサにおいて、前記静電容量検出回路は、前記センサ素子の出力端が反転入力端に接続されるオペアンプと、前記オペアンプの出力端と反転入力端との間に接続される帰還抵抗と、前記オペアンプの非反転入力端に接続される基準電圧源とを含み、前記オペアンプのイマジナリショートによって前記センサ素子の前記出力端に前記基準電圧源と等しい電圧が印加されるようにしたことを特徴とする、角速度センサ。
IPC (3件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01R 27/26
FI (3件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01R 27/26 C
Fターム (10件)：
2F105BB02 ,  2F105BB15 ,  2F105CC01 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2G028AA01 ,  2G028BB06 ,  2G028CG07 ,  2G028DH04 ,  2G028GL20
引用特許：
審査官引用 (6件)
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