マイクロミリングシステムの制御方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：大井正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-161020
公開番号（公開出願番号）：特開2006-334704
出願日： 2005年06月01日
公開日（公表日）： 2006年12月14日
要約：

【課題】切削ドリルを目標切削点の位置に正確に位置させることができ、所期の領域部分を切削することができるマイクロミリングシステムの制御方法を提供する。【解決手段】マイクロミルおよび試料映像撮影表示機構を備えてなるマイクロミリングシステムの制御方法であって、マイクロミルが、ステージと、回転切削ドリルと、移動機構とを備えてなり、試料映像撮影表示機構が撮像手段と映像表示手段とよりなり、2つの基準点に回転切削ドリルを位置させたときにおける、切削ドリルの座標位置による切削ドリル位置情報を得ると共に、2つの参照点の座標位置を表す参照点位置情報を得、切削ドリル位置情報と、参照点位置情報とより得られる座標変換関数を利用して、第2のX-Y座標系において指定される目標切削点に回転切削ドリルの切削端が位置されるよう移動機構が制御されることを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

マイクロミルおよび試料映像撮影表示機構を備えてなるマイクロミリングシステムの制御方法であって、マイクロミルが、試料載置用のステージと、このステージに固定的に保持された試料を切削する回転切削ドリルと、前記ステージと回転切削ドリルとを相対的に移動させる移動機構とを備えてなり、試料映像撮影表示機構が、前記ステージ上の試料の映像を撮像する撮像手段と映像表示手段とよりなり、試料の表面において選択された互いに離間する2つの基準点のそれぞれに回転切削ドリルの切削端を位置させたときにおける、ステージについて設定された第1のX-Y座標系における切削ドリルの切削端の座標位置による切削ドリル位置情報を得ると共に、試料映像撮影表示機構による試料の映像の場について設定された第2のX-Y座標系における上記2つの基準点にそれぞれ対応する2つの参照点の座標位置を表す参照点位置情報を得、前記2つの切削ドリル位置情報と、前記2つの参照点の参照点位置情報とより得られる前記第1のX-Y座標系と第2のX-Y座標系との間における座標変換関数を利用して、第2のX-Y座標系において指定される目標切削点に回転切削ドリルの切削端が位置されるよう移動機構が制御されることを特徴とするマイクロミリングシステムの制御方法。

IPC (5件)：

B23Q 15/00 , G01B 11/00 , G01N 1/04 , G05B 19/18 , G01N 1/28

FI (5件)：

B23Q15/00 309A , G01B11/00 H , G01N1/04 F , G05B19/18 A , G01N1/28 G

Fターム (37件)：

2F065AA03 , 2F065CC10 , 2F065FF04 , 2F065FF41 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065PP12 , 2F065PP13 , 2F065QQ00 , 2G052AA19 , 2G052AD12 , 2G052AD55 , 2G052BA15 , 2G052EC07 , 2G052GA24 , 2G052JA09 , 3C069AA07 , 3C069BA00 , 3C069BA09 , 3C069BC01 , 3C069BC04 , 3C069CA00 , 3C069CA01 , 3C069CB05 , 3C069EA02 , 5H269AB03 , 5H269AB05 , 5H269BB03 , 5H269CC02 , 5H269DD02 , 5H269EE03 , 5H269FF01 , 5H269FF02 , 5H269FF05 , 5H269JJ09 , 5H269JJ14 , 5H269JJ20

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平3-280106
画像認識を備えたロボットによる加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-140852 出願人：日立金属株式会社
特開平2-142158

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