特許
J-GLOBAL ID:200903095562649375

3次元形状測定方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  村松 貞男 ,  風間 鉄也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-004372
公開番号(公開出願番号):特開2005-195545
出願日: 2004年01月09日
公開日(公表日): 2005年07月21日
要約:
【課題】精度良く短時間で3次元形状測定を行うこと。【解決手段】θステージ14により被測定物22をθ方向に回転させ、θロータリエンコーダ15によって回転角度θを測定し、また、被測定物22の形状に沿って移動するプローブ2をXステージ9によってθステージ14の回転軸と略直交するX方向に移動し、所定のX方向の位置で保持しながらXレーザ測長器11によってプローブ2の位置座標を測定する。ステージ制御部17は、θステージ14の回転軸とプローブ2との間のX方向の距離が長いほどθステージ14の回転数を下げるように、即ち、線速度を一定範囲とする制御を行うことにより、被測定物22の中心部と周辺部の両方で、プローブ2が被測定物22に追従できる限界に近い線速度で、プローブ2を走査する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
回転機構により被測定物をθ方向に回転させ、回転角度θを測定する工程と、 前記被測定物の形状に沿って移動するプローブを、前記回転機構の回転軸と略直交するX方向に移動し、所定のX方向の位置で前記プローブの位置座標を測定する工程と、 前記回転機構の回転数を変更する工程と、 を有し、 該回転機構の回転数を変更する工程は、前記回転機構の回転軸と前記プローブとの間のX方向の距離が長いほど前記回転機構の回転数を下げる、 ことを特徴とする3次元形状測定方法。
IPC (1件):
G01B21/20
FI (1件):
G01B21/20 101
Fターム (11件):
2F069AA01 ,  2F069AA04 ,  2F069AA61 ,  2F069GG01 ,  2F069GG07 ,  2F069GG62 ,  2F069HH15 ,  2F069JJ04 ,  2F069JJ17 ,  2F069JJ19 ,  2F069LL00
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (2件)
  • 特開昭55-133551
  • 形状測定装置及び方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2001-139752   出願人:松下電器産業株式会社

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