形状測定装置及び方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-139752
公開番号（公開出願番号）：特開2002-333311
出願日： 2001年05月10日
公開日（公表日）： 2002年11月22日
要約：

【要約】【課題】ウエーハなどの薄板材の厚み変動を高精度で能率的に測定するのが困難であった。【解決手段】レンズ1で絞られた光を偏光ビームスプリッタ2を通し、薄板材4に2回測定光を照射することにより、ビーム径を0.1mm程度に絞り、偏光ビームスプリッタ2の異なる面にレンズ5を設置することにより、光信号の歪みを1/2に低減する。

請求項（抜粋）：

波長λの光を出射する光源と、この光源から出射した光を中心からずらせた位置に入射させ、被検査物上に集光させる第1のレンズと、この第1のレンズから出射した光を分岐させ、前記被検査物に出射させる偏光ビームスプリッタと、この偏光ビームスプリッタと前記被検査物の間に配置した第1のλ/4波長板と、前記偏光ビームスプリッタを介した前記被検査物からの反射光を中心からずらせた位置に入射させ、平行光にする第2のレンズと、この第2のレンズから出射した光を反射させる第1のミラーと、この第1のミラーと前記第2のレンズの間に配置した第2のλ/4波長板と、この第2のλ/4波長板、前記偏光ビームスプリッタを介した前記第1のミラーからの反射光をその焦点の位置で反射させ、かつ前記分岐した他方の光を反射させる第2のミラーと、この第2のミラーからの反射光を前記偏光ビームスプリッタ、前記第1のレンズを介して受光する受光部と、この受光した干渉信号を元に前記被検査物の形状を測定する演算部とを有したことを特徴とする形状測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/24 , H01L 21/66

FI (2件)：

H01L 21/66 P , G01B 11/24 D

Fターム (34件)：

2F065AA30 , 2F065BB03 , 2F065BB17 , 2F065BB24 , 2F065CC19 , 2F065FF17 , 2F065FF52 , 2F065FF67 , 2F065GG04 , 2F065GG12 , 2F065GG21 , 2F065HH04 , 2F065HH09 , 2F065HH13 , 2F065KK01 , 2F065LL04 , 2F065LL12 , 2F065LL36 , 2F065LL46 , 2F065MM04 , 2F065PP02 , 2F065PP13 , 2F065QQ25 , 2F065TT02 , 2F065UU07 , 4M106AA01 , 4M106BA05 , 4M106CA48 , 4M106DH03 , 4M106DH12 , 4M106DH32 , 4M106DH38 , 4M106DH39 , 4M106DJ11

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平2-115701
特開昭63-201509
特開平4-307316

全件表示

前のページに戻る