特許

J-GLOBAL ID：200903095580938643

振動子の支持構造

発明者： 石床 信行 ,  藤本 克己 ,  岡本 好司 ,  田中 博文
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-138304
公開番号（公開出願番号）：特開平10-332379
出願日： 1997年05月28日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：

【要約】【課題】 振動子の支持が安定し、低背化が可能な振動子の支持構造を提供する。【解決手段】 支持部材12a,12b,12c,12d,12e,12fは、それぞれ、略Z型の細い金属製の板材からなり、先端に拡大部18a,18b,18c,18d,18e,18fを有する。そして、ノード点N1における振動体11の厚み方向上側に位置する分割電極16a,16bの部分には、支持部材12a,12bが拡大部18a,18bを介して固着され、ノード点N1における振動体11の厚み方向下側に位置する共通電極17の部分には、支持部材12cが拡大部18cを介して固着される。同様に、ノード点N2の上側に位置する分割電極16a,16bには、支持部材12d,12eが拡大部18d,18eを介して固着され、ノード点N2の下側に位置する共通電極17には、支持部材12fが拡大部18fを介して固着されて、振動子11が、2つのノード点N1,N2において、支持部材12a〜12fにより、上下方向からサンドイッチ状に挟持されて支持固定される。

請求項（抜粋）：

柱状の振動子を支持部材で支持してなる振動子の支持構造であって、前記支持部材は、前記振動子の振動時に発生する節点を、上下方向から挟持するように設けられてなることを特徴とする、振動子の支持構造。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/09

FI (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 振動ジャイロ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-145527   出願人：株式会社村田製作所
• 振動ジヤイロ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-214191   出願人：赤井電機株式会社
• 振動子の支持構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-212758   出願人：赤井電機株式会社