特許

J-GLOBAL ID：200903095607995709

半導体ウエハ包装容器

発明者： 市野 良清 ,  中戸川 拓司 ,  八十島 康暢
出願人/特許権者： 小松化成株式会社
代理人 (1件)： 浜本 忠 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-140857
公開番号（公開出願番号）：特開平11-340310
出願日： 1998年05月22日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：

【要約】【課題】 カバーの脱着操作が容易でない。【解決手段】 上面に開口部1aを有し、かつ両側部に係止片1cが突設されたボトムケース1と、上記ボトムケース1内に着脱自在に収容され、かつ互に対向する面に、半導体ウエハ10を収容する多数のウエハ支持溝3eが縦方向に形成されたウエハキャリヤ3と、上記ボトムケース1の開口部1aに着脱自在に取付けられ、かつ両側部に、上記ボトムケース1の係止片1cに係脱自在なクランプ部5aを有するカバー5と、上記カバー5の内側上面に取付けられ、かつ上記ウエハ支持溝3eに収容された半導体ウエハ10の外周縁を下方へ押圧するウエハ押圧部材4cを有するクッション部材4とより構成したもので、カバー5両側のクランプ部5aを外すだけでカバー5が取外せることから、カバー5の脱着操作が容易に行える。

請求項（抜粋）：

上面に開口部1aを有し、かつ両側部に係止片1cが突設されたボトムケース1と、上記ボトムケース1内に着脱自在に収容され、かつ互に対向する面に、半導体ウエハ10を収容する多数のウエハ支持溝3eが縦方向に形成されたウエハキャリヤ3と、上記ボトムケース1の開口部1aに着脱自在に取付けられ、かつ両側部に、上記ボトムケース1の係止片1cに係脱自在なクランプ部5aを有するカバー5と、上記カバー5の内側上面に取付けられ、かつ上記ウエハ支持溝3eに収容された半導体ウエハ10の外周縁を下方へ押圧するウエハ押圧部材4cを有するクッション部材4とを具備したことを特徴とする半導体ウエハ包装容器。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/86

FI (2件)：

H01L 21/68 T ,  B65D 85/38 R

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭60-193877
  
• 特開昭62-033436
  
• ウエーハ収納容器のウエーハ押え
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-245252   出願人：信越半導体株式会社, 信越ポリマー株式会社
• 特開平4-303941