スタンパおよびその製造方法並びに光学素子

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-261691
公開番号（公開出願番号）：特開2003-066234
出願日： 2001年08月30日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
要約：

【要約】【課題】 2P法によって形成する微細パターンにおける溝の側壁の勾配の精度を高めることができ、光学素子の量産性を向上させることができるスタンパを提供する。【解決手段】微細パターンの溝100の側壁100aが表面に対して傾斜している。溝100の側壁100aにおける上記表面に対する傾斜角θは、以下の関係式Tan<SP>-1</SP>(4×h×w<SB>1</SB><SP>-0.2</SP>)<θ<80°h:溝100の深さw<SB>1</SB>:溝100の側壁100aによって画成される凸部の頂上の幅を満している。

請求項（抜粋）：

微細パターンを表面に有し、上記微細パターンの溝の側壁が上記表面に対して傾斜しているスタンパにおいて、上記溝の側壁の上記表面に対する傾斜角θは、以下の関係式Tan<SP>-1</SP>(4×h×w<SB>1</SB><SP>-0.2</SP>)<θ<80°h:上記溝の深さw<SB>1</SB>:上記溝の側壁によって画成される凸部の頂上の幅を満たすことを特徴とするスタンパ。

IPC (7件)：

G02B 5/32 , B29C 33/38 , G03H 1/20 , G11B 7/135 , G11B 7/22 , B29L 11:00 , B29L 17:00

FI (7件)：

G02B 5/32 , B29C 33/38 , G03H 1/20 , G11B 7/135 A , G11B 7/22 , B29L 11:00 , B29L 17:00

Fターム (23件)：

2H049CA05 , 2H049CA09 , 2H049CA20 , 2H049CA28 , 2K008AA00 , 2K008EE01 , 2K008GG05 , 4F202AH79 , 4F202AJ02 , 4F202AJ09 , 4F202CA11 , 4F202CA30 , 4F202CB01 , 4F202CB29 , 4F202CD24 , 5D119AA38 , 5D119BA01 , 5D119JA14 , 5D119NA05 , 5D789AA38 , 5D789BA01 , 5D789JA14 , 5D789NA05

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開平2-137803
情報記録媒体の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-162537 出願人：日本電気株式会社
情報記録基板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-105719 出願人：日本ビクター株式会社

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審査官引用 (8件)

特開平2-137803
情報記録媒体の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-162537 出願人：日本電気株式会社
情報記録基板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-105719 出願人：日本ビクター株式会社

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