除振装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：梶良之 , 須原誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-119999
公開番号（公開出願番号）：特開2005-299874
出願日： 2004年04月15日
公開日（公表日）： 2005年10月27日
要約：

【課題】振動絶縁性能を損なうことなく、ベースを素早く元の位置に復帰させる。【解決手段】載置物11が載置されるベース4との間の距離を制御するためのレベリングバルブ7が接続された第1空気ばね1と、第1の空気ばねよりも溶積が大きくて一定量の空気を内包して速度に比例する抵抗とばね剛性を有する第2空気ばね2とを、ベース4に対して並列に配置するか、連結ブロック3で直列に連結することによりベース4に対して直列に配置する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

載置物が載置されるベースとの間の距離を制御するためのレベリングバルブが接続された第1の空気ばねと、前記第1の空気ばねよりも容積が大きく、一定圧力の空気を内包しており且つ前記ベースに対して前記第1の空気ばねと直列に配置された第2の空気ばねと、前記第1の空気ばね及び前記第2の空気ばねの両方によって支持されていると共に、前記ベースを支持している連結部材とを備えていることを特徴とする除振装置。

IPC (2件)：

F16F15/027 , H01L21/027

FI (2件)：

F16F15/027 , H01L21/30 503F

Fターム (7件)：

3J048AB08 , 3J048AD02 , 3J048CB09 , 3J048DA01 , 3J048EA07 , 3J048EA13 , 5F046AA23

引用特許：

出願人引用 (1件)

除振機構
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-001030 出願人：オリンパス光学工業株式会社

審査官引用 (7件)

特開平2-231214
アクティブ振動絶縁装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-201124 出願人：昭和電線電纜株式会社
特開平2-021311

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