特許

J-GLOBAL ID：200903095749294660

半導体装置製造工程における搬送システム

発明者： 井上 勝浩
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 大西 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-329112
公開番号（公開出願番号）：特開2000-156398
出願日： 1998年11月19日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、半導体製造装置の稼働効率を向上させ、生産TATを短縮することができる半導体装置製造工程における搬送システムをを提供することを目的とする。【構成】 本発明は、半導体装置製造工程中の半導体ウエハを処理する処理装置6と、半導体ウエハを搬送する自動搬送車3と、自動搬送車3を制御する自動搬送車コントロ-ラ5と、処理装置及び自動搬送車コントロ-ラを制御する管理コンピュ-タ8とを有する半導体装置製造工程の搬送システムにおいて、処理装置6から前記管理コンピュ-タ8に対して、処理装置6で処理されている半導体ウエハの処理が間もなく終了することを予め通知し、その通知に基づいて、自動搬送車コントロ-ラ5が自動搬送車3を処理装置6へ移動させる。

請求項（抜粋）：

半導体装置製造工程中の半導体ウエハを処理する処理装置と、前記半導体ウエハを搬送する搬送車と、前記搬送車を制御する搬送車コントロ-ラと、前記処理装置及び前記搬送車コントロ-ラを制御する管理コンピュ-タとを有する半導体装置製造工程の搬送システムにおいて、前記処理装置から前記管理コンピュ-タに対して、前記処理装置で処理されている前記半導体ウエハの処理終了を予め知らせる処理終了予告信号を通知し、前記処理終了予告信号に基づいて、前記搬送車コントロ-ラが前記搬送車を前記処理装置へ移動させることを特徴とする搬送システム。

Fターム (8件)：

5F031CA02 ,  5F031DA17 ,  5F031FA12 ,  5F031GA59 ,  5F031JA22 ,  5F031MA23 ,  5F031MA24 ,  5F031PA03

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ロボット搬送方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-305481   出願人：日鉄セミコンダクター株式会社