特許
J-GLOBAL ID：200903089766513979

ロボット搬送方法

発明者：
外野 利一

外野 利一 について


出願人/特許権者：
日鉄セミコンダクター株式会社

日鉄セミコンダクター株式会社 について


代理人 (1件)： 田北 嵩晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-305481
公開番号（公開出願番号）：特開平10-133706
出願日： 1996年11月01日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】 ホストコンピュータは製造装置から搬出要求電文を受信してから搬送コンピュータに回収の搬送指示電文を送信しているため、ロボットが走行してロットを回収するまで製造装置は回収待ちの状態になり、製造装置の稼働率が低くなっていた。【解決手段】 ホストコンピュータ及び、これより下位の搬送コンピュータによってロボットを運用し、被搬送品を指定の製造装置へ搬入・搬出するに際し、ロボットが被搬送品を前記製造装置へ搬入した後、当該製造装置から処理の完了前に完了予告を送信させ、これを受けたホストコンピュータで次に仕掛ける被搬送品のロットを選別し、そのロットの搬送指示を搬送コンピュータへ送信するパターン判別処理100を備えたロボット搬送方法にした。
請求項（抜粋）：
ホストコンピュータの下位に位置付けられた搬送コンピュータによってロボットを管理し、前記ロボットにより被搬送品を製造装置等の装置へ搬入・搬出するロボット搬送方法において、前記ロボットが前記被搬送品を前記装置へ搬入後、前記被搬送品に対して前記装置による処理が完了する前に完了予告を前記装置から前記ホストコンピュータへ送信し、これを受けた前記ホストコンピュータが次に仕掛ける被搬送品のロットを選別し、そのロットの搬送指示を前記搬送コンピュータへ送信することを特徴とするロボット搬送方法。
IPC (2件)：
G05B 15/00 ,  H01L 21/68
FI (2件)：
G05B 15/00 ,  H01L 21/68 A
引用特許：
審査官引用 (4件)
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