特許

J-GLOBAL ID：200903095762655230

有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板の製造方法、有機エレクトロルミネッセンス表示用基板および有機エレクトロルミネッセンス表示素子

発明者： 銭 懿範 ,  石崎 守 ,  湊 孝夫 ,  伊藤 祐一 ,  鈴木 克宏
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-183505
公開番号（公開出願番号）：特開2000-150140
出願日： 1999年06月29日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：

【要約】【課題】有機EL表示素子用基板において、有機EL媒体/第2電極ラインを分離するためのひさしとすそを有する隔壁を形成するに当たり、隔壁のひさし幅ばかりでなく、すその幅をも正確に制御する【解決手段】基板(31)上に第1電極ライン(32)を形成し、その上にネガ型フォトレジスト膜(33)を形成した後、フォトレジスト膜(33)に対し、隔壁のひさしを含む頂部相当領域(121)に対する露光と、隔壁の底部相当領域(131)に対する露光とを別々に行い、未露光部を現像する。

請求項（抜粋）：

基板上に互いに離間して配置された複数の第1電極ラインと該第1電極ラインと交差する方向に互いに離間して延びる複数の隔壁とを備え、該隔壁が、上部にひさし、下部にすそを有する、有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板の製造方法であって、第1電極ラインを形成した基板上に、ネガ型フォトレジスト膜を形成し、該ネガ型フォトレジスト膜について、隔壁のひさしを含む頂部に対応する領域に対する第1の露光と隔壁の少なくともすそ先端部に対応する領域に対する第2の露光とを同時または相前後して行い、未露光部を現像に供することによって隔壁を形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板の製造方法。

IPC (5件)：

H05B 33/02 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/12 ,  H05B 33/14 ,  H05B 33/22

FI (5件)：

H05B 33/02 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/12 B ,  H05B 33/14 A ,  H05B 33/22 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 有機ELディスプレイパネルの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-121151   出願人：トヨタ自動車株式会社
• 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-293107   出願人：パイオニア株式会社
• 有機エレクトロルミネセント表示装置およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-032941   出願人：双葉電子工業株式会社
• 表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-329825   出願人：三洋電機株式会社