特許
J-GLOBAL ID:200903095794392478

表面歪み欠陥検査装置、検査方法及びコンピュータプログラム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 木村 満 ,  毛受 隆典
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-084698
公開番号(公開出願番号):特開2007-256240
出願日: 2006年03月27日
公開日(公表日): 2007年10月04日
要約:
【課題】表面の状態と検査する照明環境などに左右されない表面歪み欠陥検査装置を提供する。【解決手段】表面歪み検査装置1は、被測定物9の表面に映り込んだ画像によって、被測定物9の表面の歪みを検査する表面歪み検査装置であって、被測定物9の表面の3次元形状データを測定する3次元形状測定装置3と、3次元形状測定装置3で測定した3次元形状データを用いて、被測定物9の表面に特定の画像の映り込みをシミュレーションする制御処理装置2と、前記映り込み再現手段によってシミュレーションされた映り込み画像を表示する表示装置7と、を備える。制御処理装置2は、前記特定の画像と、被測定物9の表面と、映り込みをシミュレートする視点との相対位置を移動させて、映り込み画像を連続して変化させる。また、前記特定の画像は、単色、グレースケールもしくはカラースケールと、縞模様、市松模様もしくは格子模様との任意の組み合わせである。【選択図】図1
請求項(抜粋):
検査対象の表面に映り込んだ画像によって、前記検査対象の表面の歪みを検査する表面歪み検査装置であって、 前記検査対象の表面の3次元形状データを測定する測定手段と、 前記測定手段で測定した3次元形状データを用いて、前記検査対象の表面に特定の画像の映り込みをシミュレーションする映り込み再現手段と、 前記映り込み再現手段によってシミュレーションされた映り込み画像を表示する表示手段と、 を備えることを特徴とする表面歪み検査装置。
IPC (1件):
G01B 11/24
FI (1件):
G01B11/24 A
Fターム (16件):
2F065AA00 ,  2F065AA04 ,  2F065AA35 ,  2F065AA53 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065FF42 ,  2F065GG04 ,  2F065HH05 ,  2F065MM06 ,  2F065QQ15 ,  2F065QQ17 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
  • 曲面データの品質評価法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-287845   出願人:三菱自動車工業株式会社
  • 特開平2-059604
  • 表面ひずみ判定方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-061078   出願人:本田技研工業株式会社
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