特許

J-GLOBAL ID：200903095802731023

複合酸化物薄膜及びその製造方法

発明者： 梶芳 浩二 ,  吉村 昌弘
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所 ,  新技術事業団 ,  吉村 昌弘
代理人 (1件)： 西澤 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-132923
公開番号（公開出願番号）：特開平6-322587
出願日： 1993年05月10日
公開日（公表日）： 1994年11月22日
要約：

【要約】【目的】 均一性、結晶性に優れた複合酸化物薄膜を合成することが可能で、制御可能な膜厚範囲が広く、かつ制御精度の高い複合酸化物薄膜の製造方法を提供する。【構成】 複合酸化物を構成する金属を含有する電極7と任意の電極8を、複合酸化物を構成する他の元素を含有するpH13以上のアルカリ性水溶液(処理溶液)2中に浸漬し、このアルカリ性水溶液2を80°C〜水の臨界温度(374.2°C)の範囲内の所定の温度にまで昇温する処理(水熱処理)と、この水熱処理工程における、アルカリ性水溶液2の温度が100°C以下の温度から前記範囲内の所定の温度に至るまでの間、前記電極7,8間に通電する処理(電解処理)を施す。

請求項（抜粋）：

複合酸化物を構成する金属を含有する電極と任意の電極を、複合酸化物を構成する他の元素を含有するpH13以上のアルカリ性水溶液(処理溶液)中に浸漬し、このアルカリ性水溶液を80°C〜水の臨界温度(374.2°C)の範囲内の所定の温度にまで昇温する処理(水熱処理)と、この水熱処理工程における、アルカリ性水溶液の温度が100°C以下の温度から前記範囲内の所定の温度に至るまでの間、前記電極間に通電する処理(電解処理)を施すことを特徴とする複合酸化物薄膜の製造方法。

IPC (4件)：

C25D 11/00 301 ,  C01G 23/00 ,  C25D 9/04 ,  H01B 3/00