特許

J-GLOBAL ID：200903095808148982

フラットパネルディスプレイの製造方法及びその製造装置

発明者： 大竹 忠 ,  小川 一文
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 大前 要
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-063954
公開番号（公開出願番号）：特開2001-255502
出願日： 2000年03月08日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：

【要約】【課題】被洗浄面の状態に悪影響を与えることなく洗浄を行え、かつ残留が全くない洗浄剤を使用し、それにより従来と比べて高性能なフラットパネルディスプレイの製造方法を提供する。【解決手段】フラットパネルディスプレイの製造方法に於いて、超臨界流体又は亜臨界流体に接触させて、基板を洗浄する洗浄工程を行うことにより、乾燥工程等を省略でき、製造工程数を減らして製造コストの低減が図れる。更に、洗浄物質が残留しないことから、基板表面に及ぼす悪影響を防止することができ、表示特性が良好なフラットパネルディスプレイを製造することができる。

請求項（抜粋）：

基板を洗浄する洗浄工程を有するフラットパネルディスプレイの製造方法であって、前記洗浄工程は、超臨界流体又は亜臨界流体を用いて洗浄することを特徴とするフラットパネルディスプレイの製造方法。

IPC (9件)：

G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1337 ,  G09F 9/00 338 ,  G09F 9/00 342 ,  H05B 33/04 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 ,  H05B 33/26

FI (9件)：

G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1337 ,  G09F 9/00 338 ,  G09F 9/00 342 Z ,  H05B 33/04 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A ,  H05B 33/26 Z

Fターム (25件)：

2H088FA20 ,  2H088FA21 ,  2H088FA23 ,  2H088FA24 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088HA03 ,  2H088MA18 ,  2H088MA20 ,  2H090HC17 ,  2H090HD14 ,  2H090JC19 ,  2H090LA04 ,  3K007AB17 ,  3K007AB18 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA00 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435BB12 ,  5G435KK05