欠陥検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢葺知之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-119097
公開番号（公開出願番号）：特開2001-307067
出願日： 2000年04月20日
公開日（公表日）： 2001年11月02日
要約：

【要約】【課題】欠陥のサンプルデータが少ない場合においても、短期間で高性能な判別手段を生成する機能を有した欠陥検査装置を提供する。【解決手段】判別手段として、各欠陥の種類毎に判別条件を明記したロジックテーブルによる判別を用いることで、人間の手による調整が容易となり、欠陥のサンプルデータ以外の欠陥に関する知識を反映させることを可能にする。また、サンプルデータを特徴量の類似したデータ毎に分類し、ロジックテーブルを自動的に構築する手段を備えることによって、ロジックを生成する時間を短縮する。

請求項（抜粋）：

検査対象を撮影し、画像を得る撮像手段;撮像手段で得られた画像から欠陥を検出する欠陥検出手段;欠陥検出手段で検出された各欠陥の特徴量を抽出する特徴量抽出手段;欠陥の特徴量から、各欠陥の種類毎に判別条件式を記したロジックテーブルによってその種類及び程度を判別する欠陥判別手段;欠陥の種類及び程度が既知のデータからなるデータベースに対して、それぞれの特徴量を比較し、その値の類似したデータを一つのクラスタにまとめることでデータベースを複数のクラスタに分類する純粋クラスタ分類機能、および分類された各クラスタ毎に特徴量の値を用いた判別条件式を生成し、ロジックテーブルを生成するロジックテーブル生成機能の二つの機能を有し、データベースから自動的にロジックテーブルを生成するロジックテーブル生成手段;を備えた欠陥検査装置。

IPC (5件)：

G06T 1/00 300 , G01B 11/30 , G01N 21/88 , G01N 21/892 , G06T 7/00 250

FI (5件)：

G06T 1/00 300 , G01B 11/30 A , G01N 21/88 J , G01N 21/892 B , G06T 7/00 250

Fターム (64件)：

2F065AA22 , 2F065AA28 , 2F065AA49 , 2F065AA58 , 2F065AA61 , 2F065CC06 , 2F065DD06 , 2F065FF04 , 2F065GG16 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ26 , 2F065QQ21 , 2F065QQ29 , 2F065QQ31 , 2F065QQ41 , 2F065QQ42 , 2G051AA37 , 2G051AB02 , 2G051AC04 , 2G051CA03 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2G051DA06 , 2G051EA14 , 2G051EA23 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051EB05 , 2G051EC01 , 2G051EC02 , 2G051EC03 , 2G051EC05 , 2G051ED08 , 2G051ED21 , 5B057AA01 , 5B057BA02 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CB18 , 5B057CC01 , 5B057CE12 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB09 , 5B057DC03 , 5B057DC04 , 5B057DC36 , 5B057DC40 , 5L096AA07 , 5L096BA03 , 5L096CA02 , 5L096DA02 , 5L096DA04 , 5L096EA43 , 5L096FA17 , 5L096FA32 , 5L096FA33 , 5L096FA59 , 5L096FA64 , 5L096FA65 , 5L096KA04 , 5L096MA07

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-364448
認識結果の分類方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-114564 出願人：松下電器産業株式会社
類似パターンカテゴリ識別辞書作成装置および方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-006785 出願人：富士ゼロックス株式会社

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