複合構造物作製装置

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小山有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-314443
公開番号（公開出願番号）：特開2003-119573
出願日： 2001年10月11日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：

【要約】【課題】エアロゾルデポジション法において、構造物形成に与らないエアロゾル中の脆性材料微粒子を回収する。【解決手段】脆性材料微粒子をガス中に分散させたエアロゾルをノズルから基板に向けて噴射し、基板に脆性材料の構造物を形成するとともに、基板に衝突したエアロゾルを整流して衝突箇所の近傍に設置した吸引部材へと誘導して導入し、その下流に設置した粉体回収容器にて構造物形成に与らないエアロゾル中の脆性材料微粒子とガスを分離させることにより微粒子を回収する。

請求項（抜粋）：

脆性材料微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを高速で基板に衝突させて脆性材料の構造物を作製する脆性材料構造物作製装置において、前記エアロゾルを高速で前記基板に向けて噴射するノズルと、前記エアロゾルと前記基板との衝突部位の近傍に設置され前記基板に衝突した後に前記構造物の形成に関らないエアロゾルを吸入する吸引部材と、前記吸引部材に連結し前記構造物の形成に関らないエアロゾル中の脆性材料微粒子とガスを分離し前記脆性材料微粒子を捕捉し貯留する微粒子回収容器と、前記微粒子回収容器に連結し前記脆性材料と分離されたガスを装置外へ排出する排気装置とを有することを特徴とする複合構造物作製装置。

Fターム (9件)：

4K044AA01 , 4K044BA13 , 4K044BA18 , 4K044BB11 , 4K044BC06 , 4K044CA12 , 4K044CA29 , 4K044CA53 , 4K044CA71

引用特許：

審査官引用 (4件)

歯車の高強度化装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-052054 出願人：本田技研工業株式会社
セラミック分散メッキ方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-003221 出願人：株式会社不二機販
特表平3-501137

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