感光性樹脂組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：米田潤三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-353690
公開番号（公開出願番号）：特開平7-199465
出願日： 1993年12月29日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：

【要約】【目的】高感度かつ高解像度であり、現像マージンの高い感光性樹脂組成物を提供する。【構成】高分子バインダー、エチレン性不飽和二重結合を有するモノマーに光重合開始剤を加えて感光性樹脂組成物とし、光重合開始剤はアクリジン化合物と、下記の化1、化2および化3で表されるトリアジン化合物(R1 、R2 は炭素数1乃至3のアルキル基を表す)の少なくとも1種とを含むものとする。【化1】【化2】【化3】

請求項（抜粋）：

高分子バインダー、エチレン性不飽和二重結合を有するモノマー、光重合開始剤を含んでなる感光性樹脂組成物において、前記光重合開始剤としてアクリジン化合物と、下記の化1、化2および化3で表されるトリアジン化合物(R1 、R2 は炭素数1乃至3のアルキル基を表す)の少なくとも1種とを含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】【化2】【化3】

IPC (6件)：

G03F 7/028 , G02B 5/20 101 , G03F 7/00 503 , G03F 7/027 502 , G03F 7/038 505 , H05K 3/06

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開平4-219756
特開平2-073813
特開平2-001714

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