特許
J-GLOBAL ID：200903095824076843

感光性樹脂組成物

発明者：
内河 喜代司

内河 喜代司 について

, 
駒野 博司

駒野 博司 について


出願人/特許権者：
東京応化工業株式会社

東京応化工業株式会社 について


代理人 (1件)： 米田 潤三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-353690
公開番号（公開出願番号）：特開平7-199465
出願日： 1993年12月29日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：
【要約】【目的】 高感度かつ高解像度であり、現像マージンの高い感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 高分子バインダー、エチレン性不飽和二重結合を有するモノマーに光重合開始剤を加えて感光性樹脂組成物とし、光重合開始剤はアクリジン化合物と、下記の化1、化2および化3で表されるトリアジン化合物(R1 、R2 は炭素数1乃至3のアルキル基を表す)の少なくとも1種とを含むものとする。【化1】【化2】【化3】
請求項（抜粋）：
高分子バインダー、エチレン性不飽和二重結合を有するモノマー、光重合開始剤を含んでなる感光性樹脂組成物において、前記光重合開始剤としてアクリジン化合物と、下記の化1、化2および化3で表されるトリアジン化合物(R1 、R2 は炭素数1乃至3のアルキル基を表す)の少なくとも1種とを含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】【化2】【化3】
IPC (6件)：
G03F 7/028 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/038 505 ,  H05K 3/06
引用特許：
審査官引用 (25件)
  • 特開平4-219756
  • 特開平4-219756
  • 特開平2-073813
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