特許

J-GLOBAL ID：200903095966878670

露光装置の調節方法及び露光装置

発明者： 李 軒
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 高橋 敬四郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-334116
公開番号（公開出願番号）：特開2002-141267
出願日： 2000年11月01日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【課題】 インターロック用マークのずれ量測定時間を短縮することができる露光装置の調節方法を提供する。【解決手段】 第1の基準点が明示されたウエハ保持面を有するウエハチャックと、露光光が透過する開口が設けられたマスク保持面を有するマスクチャックとを、該ウエハ保持面と該マスク保持面とが相互に平行に対向する。第2の基準点が明示された調節用部品を、マスクチャックの位置決め部材により位置決めして、該マスクチャックに保持する。第1の基準点と第2の基準点との、ウエハ保持面の面内方向に関する相対位置を観測し、観測結果に基づいてウエハチャック及びマスクチャックの少なくとも一方をウエハ保持面に平行な方向に移動させ、両者の位置を調節する。

請求項（抜粋）：

第1の基準点が明示されたウエハ保持面を有するウエハチャックと、露光光が透過する開口が設けられたマスク保持面を有するマスクチャックとを、該ウエハ保持面と該マスク保持面とが相互に平行に対向するように配置する工程と、第2の基準点が明示された調節用部品を、マスクチャックの位置決め部材により位置決めして、該マスクチャックに保持する工程と、前記第1の基準点と第2の基準点との、前記ウエハ保持面の面内方向に関する相対位置を観測し、観測結果に基づいて前記ウエハチャック及びマスクチャックの少なくとも一方を前記ウエハ保持面に平行な方向に移動させ、両者の位置を調節する工程とを有する露光装置の調節方法。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G01B 21/00 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68

FI (9件)：

G01B 11/00 H ,  G01B 21/00 L ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 F ,  H01L 21/68 G ,  H01L 21/30 516 B ,  H01L 21/30 503 C ,  H01L 21/30 503 D ,  H01L 21/30 531 A

Fターム (35件)：

2F065AA20 ,  2F065BB27 ,  2F065CC17 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP12 ,  2F069AA17 ,  2F069BB15 ,  2F069CC06 ,  2F069DD12 ,  2F069FF01 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG45 ,  2F069MM03 ,  2F069MM24 ,  2F069PP02 ,  5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031HA13 ,  5F031HA53 ,  5F031JA22 ,  5F031JA38 ,  5F031KA03 ,  5F031KA06 ,  5F031KA08 ,  5F031KA11 ,  5F031MA27 ,  5F046CC08 ,  5F046CC09 ,  5F046CC11 ,  5F046DA05 ,  5F046DB04

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 電子線縮小転写装置及びアライメント方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-100660   出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (1件)

• 電子線縮小転写装置及びアライメント方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-100660   出願人：株式会社ニコン