特許
J-GLOBAL ID:200903095980801060
鉛及び鉛-錫合金めっき浴
発明者:
,
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者:
,
,
代理人 (1件):
富田 和夫 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-149122
公開番号(公開出願番号):特開平11-001792
出願日: 1997年06月06日
公開日(公表日): 1999年01月06日
要約:
【要約】【課題】 はんだ付けが必要な一般電子部品へのめっき用または半導体ウエハ表面へのPbまたはPb-Sn合金突起電極の形成用として使用することができる鉛が20〜100%含有するPbまたは高Pb-Sn合金めっき浴を提供する。【解決手段】 アルカンスルホン酸鉛およびアルカノールスルホン酸鉛の内の1種または2種(さらに必要に応じてアルカンスルホン酸錫およびアルカノールスルホン酸錫の内の1種または2種を含有する)、アルカンスルホン酸およびアルカノールスルホン酸の内の1種または2種、並びにリン化合物を含有する水溶液に、特殊な芳香族化合物と、これらを浴中に分散させる界面活性剤、平滑化添加剤および酸化防止剤を含有してなる鉛-錫合金めっき浴。
請求項(抜粋):
アルカンスルホン酸鉛およびアルカノールスルホン酸鉛の内の1種または2種、並びにアルカンスルホン酸およびアルカノールスルホン酸の内の1種または2種を含有し、さらにリン化合物を含有する水溶液に、下記の化1の一般式で示される芳香族化合物と、これらを浴中に分散させる界面活性剤および平滑化添加剤を含有してなることを特徴とする鉛めっき浴。
IPC (3件):
C25D 3/36
, C25D 3/56
, H01L 21/321
FI (4件):
C25D 3/36
, C25D 3/56 Z
, H01L 21/92 603 B
, H01L 21/92 604 B
引用特許:
前のページに戻る