特許

J-GLOBAL ID：200903095983068088

照明装置及びそれを有する露光装置

発明者： 辻 俊彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 西山 恵三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-093688
公開番号（公開出願番号）：特開2001-284212
出願日： 2000年03月30日
公開日（公表日）： 2001年10月12日
要約：

【要約】【課題】 光源からの光の変動によらず被照射面上の光強度分布の均一性を維持し、同時に光利用効率の向上を図ること。【解決手段】 レーザ光源1からの光を用いて被照射面16を照明する照明装置であって、レーザ光源1からの光を一定の発散角度で射出する射出角度保存光学素子6と、多光束発生手段14の入射面で所望の光強度分布の光を形成するための回折光学素子10とを有し、回折光学素子10を射出角度保存光学素子6からの光束が集光する位置近傍に設ける。

請求項（抜粋）：

光源からの光を用いて被照射面を照明する照明装置であって、光源からの光を一定の発散角度で射出する射出角度保存手段と、所定面で所望の光強度分布の光を形成するための回折光学素子とを有し、前記回折光学素子は前記射出角度保存手段からの光束が集光する位置もしくはその近傍に設けられていることを特徴とする照明装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G02B 5/32 ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 521

FI (5件)：

G02B 5/32 ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 527 ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (14件)：

2H049CA05 ,  2H049CA09 ,  2H049CA11 ,  2H049CA18 ,  2H049CA28 ,  2H052BA02 ,  2H052BA09 ,  2H052BA12 ,  5F046BA03 ,  5F046CA04 ,  5F046CB01 ,  5F046CB05 ,  5F046CB13 ,  5F046CB23

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 照明装置及びそれを用いた投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-361944   出願人：キヤノン株式会社