特許
J-GLOBAL ID：200903096066994352
透明導電膜
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 博光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-214893
公開番号（公開出願番号）：特開平6-060723
出願日： 1992年08月12日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：
【要約】【目的】 透光性(可視波長域)が良好で、かつ、電気的にも低抵抗で大電流用電極に使用できるITO膜を提供すること。【構成】 ITO膜2と透明絶縁膜であるIn2 O3 膜3を膜成長方向に交互に、層状に積み重ねたこと。
請求項（抜粋）：
スズ添加酸化インジウム透明導電膜と透明絶縁膜とを、膜成長方向に交互に層状に積み重ねて成ることを特徴とする透明導電膜。
IPC (4件)：
H01B 5/14
, C30B 29/16
, G02F 1/1343
, H01L 31/04
