特許
J-GLOBAL ID:200903096067138905
電子ビーム照射用装置および方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
浅村 皓
, 浅村 肇
, 田中 正
, 森 徹
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-508578
公開番号(公開出願番号):特表2006-527139
出願日: 2004年06月08日
公開日(公表日): 2006年11月30日
要約:
本発明は、ウエブ(W)の少なくとも第1面(W1)を電子ビーム照射するための装置に関し、この装置は、このウエブ(W)を通すようにしたトンネルを含み、上記トンネルは、ウエブ入口部(5)、ウエブ出口部(6)およびそれを通して電子をこのトンネルの中へ放射するようにした電子出口窓(21)を備え、少なくとも第1電子ビーム放射源(2)を受けるようにした中央部を備える。このトンネルは、この入口部(5)および出口部(6)の各々の少なくとも2個所で、このウエブ(W)の電子ビーム照射中にできたX線をこのトンネルを出る前に少なくとも2度このトンネル壁に当らせるような方法で、曲げてある。
請求項(抜粋):
ウエブ(W)の少なくとも第1面(W1)を電子ビーム照射するための装置であって、このウエブ(W)を通すようにしたトンネルを含み、上記トンネルは、ウエブ入口部(5)、ウエブ出口部(6)およびそれを通して電子をこのトンネルの中へ放射するようにした電子出口窓(21)を備え、少なくとも第1電子ビーム放射源(2)を受けるようにした中央部を備え、並びにそれでこのトンネルが、この入口部(5)および出口部(6)の各々の少なくとも2個所で、このウエブ(W)の電子ビーム照射中にできたX線をこのトンネルを出る前に少なくとも2度このトンネル壁に当らせるような方法で、曲げてある装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (6件):
4C058AA25
, 4C058BB06
, 4C058KK03
, 4C058KK21
, 4C058KK32
, 4C058KK44
引用特許:
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