感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-287645
公開番号（公開出願番号）：特開2000-347391
出願日： 1999年10月08日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】膜伸度、膜強度、及び保存安定性が優れる感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、プリント配線の高密度化及び作業性が極めて優れたレジストパターンの製造法並びにこのレジストパターンを有するプリント配線板の製造法を提供する。【解決手段】 (A)分散度が2.0〜3.0のバインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも一つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、(C)光重合開始剤及び(D)下記一般式(I)で表される化合物を含有してなる感光性樹脂組成物、この組成物を支持体上に積層してなる感光性エレメント、このエレメントを、回路形成用基板上に感光性樹脂組成物層が密着するようにして積層し、光硬化させ、未露光部を現像により除去するレジストパターンの製造法並びにこのレジストパターンの製造された回路形成用基板をエッチング又はめっきするプリント配線板の製造法。

請求項（抜粋）：

(A)分散度が2.0〜3.0のバインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも一つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、(C)光重合開始剤及び(D)一般式(I)【化1】(式中、Zはハロゲン原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、炭素数6〜14のアリール基、アミノ基、炭素数1〜20のアルキルアミノ基、炭素数2〜20のジアルキルアミノ基、ニトロ基、シアノ基、メルカプト基、炭素数1〜10のアルキルメルカプト基、アリル基、水酸基、炭素数1〜20のヒドロキシアルキル基、カルボキシル基、アルキル基の炭素数が1〜10のカルボキシアルキル基、アルキル基の炭素数が1〜10のアシル基、炭素数1〜20のアルコキシ基又は複素環を含む基を示し、R1は炭素数1〜10のアルキレン基を示し、R2及びR3は各々独立して炭素数1〜12のアルキル基又は炭素原子数1〜12のヒドロキシアルキル基を示し、nは0〜4の整数である)で表される化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/004 501 , C08F 2/48 , C08F 20/02 , G03F 7/027 502 , G03F 7/028 , G03F 7/032 , H05K 3/06 , H05K 3/18

FI (8件)：

G03F 7/004 501 , C08F 2/48 , C08F 20/02 , G03F 7/027 502 , G03F 7/028 , G03F 7/032 , H05K 3/06 H , H05K 3/18 D

Fターム (80件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AA13 , 2H025AA14 , 2H025AB11 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC14 , 2H025BC31 , 2H025BC43 , 2H025BC51 , 2H025BC74 , 2H025CA27 , 2H025CA28 , 2H025CB55 , 2H025CB56 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA40 , 2H025FA43 , 4J011QA03 , 4J011QA13 , 4J011QA15 , 4J011QA22 , 4J011QA23 , 4J011QA24 , 4J011QB16 , 4J011QB20 , 4J011QB24 , 4J011RA03 , 4J011RA17 , 4J011SA05 , 4J011SA21 , 4J011SA41 , 4J011SA63 , 4J011SA78 , 4J011TA04 , 4J011TA10 , 4J011UA01 , 4J011UA06 , 4J011VA01 , 4J011WA01 , 4J100AJ02P , 4J100AL02P , 4J100AL03P , 4J100AL04P , 4J100AL05P , 4J100AL08P , 4J100AL62P , 4J100AL63P , 4J100AL66P , 4J100AL67P , 4J100BA02P , 4J100BA03P , 4J100BA08P , 4J100BA15P , 4J100BB01P , 4J100BC43P , 4J100BC45P , 4J100CA01 , 4J100JA38 , 5E339CC01 , 5E339CC10 , 5E339CD01 , 5E339CE12 , 5E339CE16 , 5E339CF16 , 5E339CF17 , 5E339DD02 , 5E343AA02 , 5E343AA11 , 5E343BB21 , 5E343CC43 , 5E343CC62 , 5E343DD33 , 5E343DD43 , 5E343ER16 , 5E343ER18 , 5E343GG20

引用特許：

審査官引用 (10件)

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-251147 出願人：日立化成工業株式会社
特開平3-179356
特開平3-179356

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