特許
J-GLOBAL ID：200903096084194169
イオン質量分離装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
山田 恒光
, 大塚 誠一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-000925
公開番号（公開出願番号）：特開2005-197041
出願日： 2004年01月06日
公開日（公表日）： 2005年07月21日
要約：
【課題】イオン質量分離装置で生じる不要イオンがイオン質量分離装置から導出されないようにする。【解決手段】両端に入口部2と出口部3を有して湾曲し、外周に導体6xを巻いて空芯励磁電流路6を形成したイオン質量分離装置1のイオン偏向ケーシング5の出口部導体6bと重なる外側位置に外側スリット電極16を設け、外側スリット電極16にイオン質量分離装置1に印加する電圧より僅かに高い正電圧を印加して出口部3に電界による障壁を形成することにより不要イオンの導出を防止する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
両端に入口部と出口部を有して湾曲したイオン偏向ケーシングの外部に、前記入口部と出口部を通るようにイオン偏向ケーシングの曲りに沿ってイオン偏向ケーシングの幅方向に導体を巻いて空芯励磁電流路を形成し、イオンビームを入口部の導体間を通してイオン偏向ケーシングの内部に導入し、空芯励磁電流路による磁場の作用によりイオンビームをイオンの質量に応じて湾曲させ、所望の質量のイオンビームを出口部の導体間を通して導出するようにしたイオン質量分離装置であって、前記イオン偏向ケーシングの出口部導体と重なる外側位置に外側スリット電極を設け、該外側スリット電極に前記イオン質量分離装置に印加する電圧より僅かに高い正電圧を印加したことを特徴とするイオン質量分離装置。
IPC (5件)：
H01J37/05
, C23C14/48
, H01J37/317
, H01J49/30
, H01L21/265
H01J37/05
, C23C14/48 A
, H01J37/317 Z
, H01J49/30
, H01L21/265 603B
4K029DE03
, 4K029EA09
, 5C033AA03
, 5C034CC02
, 5C034CD03
, 5C038HH07
, 5C038KK12
, 5C038KK15
