特許

J-GLOBAL ID：200903096118070880

感光性ペースト

発明者： 堀内 健 ,  井口 雄一朗 ,  正木 孝樹
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-177152
公開番号（公開出願番号）：特開平11-072909
出願日： 1998年06月24日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：

【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を可能にする感光性ペーストを提供する。【解決手段】無機微粒子と感光性化合物を含む有機成分を必須成分とする感光性ペーストであって、g線での吸光係数が0.01〜0.2cm2/mgであって、かつh線またはi線での吸光係数が0.1cm2/mg以上であるように、それぞれの波長で高い吸光係数を有する吸光剤、光重合開始剤、増感剤または水素引き抜き型重合開始剤を配合して吸光係数を前期のようにコントロールした感光性ペーストによって達成される。

請求項（抜粋）：

無機微粒子と感光性有機成分とを含み、g線での吸光係数が0.01〜0.2cm2/mgであって、かつh線またはi線での吸光係数が0.1cm2/mg以上であることを特徴とする感光性ペースト。

IPC (5件)：

G03F 7/004 505 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 506 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02

FI (5件)：

G03F 7/004 505 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 506 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 感光性ペースト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-321794   出願人：東レ株式会社
• プラズマディスプレイパネル用隔壁の製造方法及び隔壁形成用組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-199691   出願人：日本合成ゴム株式会社
• カラーフィルタ用感光性着色組成物およびカラーフィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-151033   出願人：東洋インキ製造株式会社, 凸版印刷株式会社
• 特開平4-164902
  
• カラーフィルター
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-161628   出願人：日本化薬株式会社
• 特開平4-164902