特許

J-GLOBAL ID：200903096129474923

恒温液体供給装置

発明者： 寺木 潤一
出願人/特許権者： ダイキン工業株式会社
代理人 (1件)： 津川 友士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-191595
公開番号（公開出願番号）：特開2005-024194
出願日： 2003年07月04日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：

【課題】小型化、コストダウンを達成し、しかも、液体の供給量、温調可能な温度を自由に設定する。【解決手段】液体供給源(1)と連通される液体供給流路(2)の所定位置に介在され、液体流入口(4a7)と液体流出口(4a8)との間に複数の区画部材(4a5)(4a6)を有することにより折り返し状の液体流路(4a4)が形成され、かつ液体と熱的に連結される第1の放熱部材(4a)と、第1の放熱部材(4a)と吸熱側が熱的に連結されるペルチェモジュール(4b)と、ペルチェモジュール(4b)の動作を制御する制御手段とを含む。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

液体供給源(1)と連通される液体供給流路(2)の所定位置に介在され、液体流入口(4a7)と液体流出口(4a8)との間に複数の区画部材(4a5)(4a6)を有することにより折り返し状の液体流路(4a4)が形成され、かつ液体と熱的に連結される第1の放熱部材(4a)と、第1の放熱部材(4a)と吸熱側が熱的に連結されるペルチェモジュール(4b)と、ペルチェモジュール(4b)の動作を制御する制御手段とを含むことを特徴とする恒温液体供給装置。

IPC (2件)：

F25B21/02 ,  H01L21/027

FI (2件)：

F25B21/02 M ,  H01L21/30 564Z

Fターム (2件)：

5F046JA01 ,  5F046JA24

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 耐薬品性熱交換器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-118472   出願人：オリオン機械株式会社, 日本ピラー工業株式会社
• 流体冷却器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-059466   出願人：積水化学工業株式会社, 九州日立マクセル株式会社
• 温度制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-306421   出願人：武蔵エンジニアリング株式会社