特許

J-GLOBAL ID：200903096132470157

圧電装置及びその製造方法

発明者： 遠藤 秀男
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-339610
公開番号（公開出願番号）：特開2000-165176
出願日： 1998年11月30日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】 耐衝撃性の高い圧電装置及びその製造方法を提供すること。【解決手段】 圧電装置30は、圧電振動素子31と、前記圧電振動素子を収納するためのベース部32と、前記圧電振動素子が前記ベース部に収納された状態で前記ベース部を密封するための蓋部33とを備えている。そして、前記圧電振動素子と対向する前記蓋部の面に絶縁膜37を成膜する。

請求項（抜粋）：

圧電振動素子と、前記圧電振動素子を収納するためのベース部と、前記圧電振動素子が前記ベース部に収納された状態で前記ベース部を密封するための蓋部とを備えた圧電装置において、前記圧電振動素子と対向する前記蓋部の面に絶縁膜が成膜されていることを特徴とする圧電装置。

IPC (3件)：

H03H 9/02 ,  H03H 3/04 ,  H03H 9/10

FI (4件)：

H03H 9/02 A ,  H03H 9/02 M ,  H03H 3/04 B ,  H03H 9/10

Fターム (15件)：

5J108AA02 ,  5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108GG03 ,  5J108GG09 ,  5J108GG15 ,  5J108GG16 ,  5J108HH03 ,  5J108HH05 ,  5J108KK04 ,  5J108KK05 ,  5J108MM01 ,  5J108MM02 ,  5J108NA02 ,  5J108NB03

引用特許：

審査官引用 (1件)

• チップ型水晶部品、およびチップ型水晶部品の製造方法、およびチップ型水晶部品連
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-130883   出願人：株式会社大真空