特許
J-GLOBAL ID：200903096169787452
ガラスディスク研磨装置およびガラスディスク研磨方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福田 武通 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-275811
公開番号（公開出願番号）：特開2001-096445
出願日： 1999年09月29日
公開日（公表日）： 2001年04月10日
要約：
【要約】【課題】 次工程でのランニングコストを低減でき、また装置を小型化するとともに、自動化の導入を容易にし、さらに装置コストの低減と省スペース化を実現でき、作業性も改善することができるようにする。【解決手段】 この発明のガラスディスク研磨装置1は、ガラスディスク10の表面の研磨を行う装置であって、ガラスディスク10をその外周端面で回転自在に把持するアーム部21と、アーム部21で把持したガラスディスク10のディスク両面の各々に配置した研磨具3a,3bと、研磨具3a,3bを対向するディスク面に接離自在とする送り駆動部4と、研磨具3a,3bを回転駆動させる回転駆動部5と、を有し、送り駆動部4で研磨具3a,3bを移動させてディスク両面に当接させ、回転駆動部5で研磨具3a,3bを回転させてディスク両面を研磨する、ことを特徴としている。
請求項（抜粋）：
ガラスディスク表面の研磨を行うガラスディスク研磨装置において、上記ガラスディスクをその外周端面で回転自在に把持するアーム部と、上記アーム部で把持したガラスディスクのディスク両面の各々に配置した研磨具と、上記研磨具を対向するディスク面に接離自在とする送り駆動部と、上記研磨具を回転駆動させる回転駆動部と、を有し、上記送り駆動部で研磨具を移動させてディスク両面に当接させ、上記回転駆動部で研磨具を回転させてディスク両面を研磨する、ことを特徴とするガラスディスク研磨装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 7/17 A
, B24B 7/24 A
3C043BC04
, 3C043CC04
, 3C043CC11
, 3C043DD05
, 3C043DD14
