特許

J-GLOBAL ID：200903096190009737

バキュームチャックのセラミックマスクとその使用方法

発明者： 波田野 光一
出願人/特許権者： ラップマスターエスエフティ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-157685
公開番号（公開出願番号）：特開2000-343363
出願日： 1999年06月04日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：

【要約】【目的】サイズの相違するシリコンウエハに研削加工又は研磨加工をする場合にバキュームチャックの交換をしなくともセラミックマスクを交換するだけでフリーサイズとするセラミックマスクとその使用方法を提供する。【解決手段】底面に吸引孔を貫設すると共に凹陥部を備えたカップ状のバキュームチャックベースと、バキュームチャックベースの凹陥部に嵌入するポーラスセラミックで形成された吸着台と、吸着台にシリコンウエハを吸着させて研削加工又は研磨加工を施すバキュームチャックにおいて、シリコンウエハの外周とバキュームチャックベースの外周縁辺の上面との間を覆う不通気性のセラミックマスクを形成すると共に、セラミックマスクの肉厚はシリコンウエハの肉厚より薄肉とした。

請求項（抜粋）：

底面に複数の吸引孔を貫設すると共に中央に凹陥部を備えたカップ状のバキュームチャックベースと、該バキュームチャックベースの凹陥部に嵌入する通気性のポーラスセラミックで円板状に形成された吸着台と、該吸着台の中央にシリコンウエハを吸着させて研削加工又は研磨加工を施すバキュームチャックにおいて、前記シリコンウエハの外周とバキュームチャックベースの外周縁辺の上面との間を覆う不通気性のセラミックマスクをドーナツ状に形成すると共に、前記セラミックマスクの肉厚はシリコンウエハの肉厚より薄肉としたことを特徴とするバキュームチャックのセラミックマスク。

IPC (2件)：

B23Q 3/08 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

B23Q 3/08 A ,  H01L 21/68 P

Fターム (5件)：

3C016DA02 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA14 ,  5F031MA22

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭53-112590
  
• 特開昭53-112590
  
• 真空チャック面の空気洩れ防止方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-273400   出願人：豊田工機株式会社, 株式会社フジミインコーポレーテッド