特許
J-GLOBAL ID：200903096210100450

照明装置及びそれを用いた物体表面検査装置

発明者：
吉川 博志

吉川 博志 について

, 
斉藤 謙治

斉藤 謙治 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-170042
公開番号（公開出願番号）：特開2008-004284
出願日： 2006年06月20日
公開日（公表日）： 2008年01月10日
要約：
【課題】 被照射物体又は被検査物体上の広範囲の照射面を効率良く均一に照明すること。 【解決手段】 光源手段と、該光源手段から射出した光を入射させる入射面と、該入射面を介した光を被照射面側へ出射させる出射面とを含む導光光学系と、 該導光光学系の出射面と該被照射面との間であって、被照射基準面に平行で出射光軸を挟んで対向配置した反射手段とを有し、 該反射手段は、該光源手段からの光であって、該導光光学系の出射面から出射し、該被照射基準面に対し垂直方向の成分を持つ方向に出射した光を該被照射面方向に反射させること。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光源手段と、該光源手段から射出した光を入射させる入射面と、該入射面を介した光を被照射面側へ出射させる出射面とを含む導光光学系と、 該導光光学系の出射面と該被照射面との間であって、被照射基準面に平行で出射光軸を挟んで対向配置した反射手段とを有し、 該反射手段は、該光源手段からの光であって、該導光光学系の出射面から出射し、該被照射基準面に対し垂直方向の成分を持つ方向に出射した光を該被照射面方向に反射させることを特徴とする照明装置。
IPC (6件)：
F21S 2/00 ,  F21V 13/00 ,  G01N 21/84 ,  G03B 15/00 ,  G03B 15/02 ,  G02B 21/12
FI (6件)：
F21M1/00 R ,  G01N21/84 E ,  G03B15/00 T ,  G03B15/02 G ,  G03B15/02 S ,  G02B21/12
Fターム (24件)：
2G051BA02 ,  2G051BB02 ,  2G051BB11 ,  2G051BB20 ,  2G051BC02 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2H052AC06 ,  2H052AC07 ,  2H052AC09 ,  2H052AC27 ,  2H052AF02 ,  2H052AF14 ,  2H052BA03 ,  3K042AA01 ,  3K042BA09 ,  3K042BB01 ,  3K042BC09 ,  3K042BE08 ,  3K243AA01 ,  3K243BA09 ,  3K243BB01 ,  3K243BC09 ,  3K243BE08
引用特許：
出願人引用 (6件)
  • 特開平4-138438号公報
  • 照明装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-068194   出願人：富士写真フイルム株式会社
  • 撮影用照明装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-035288   出願人：キヤノン株式会社
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審査官引用 (3件)
  • 照明装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-119960   出願人：オムロン株式会社
  • 表面検査用照明装置及び表面検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-366089   出願人：シーシーエス株式会社
  • 照明装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-091879   出願人：キヤノン株式会社

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