特許

J-GLOBAL ID：200903096253822743

強誘電体膜形成用溶液および強誘電体膜の形成法

発明者： 神澤 公 ,  桂木 速人 ,  山手 拓 ,  森 清人
出願人/特許権者： ローム株式会社 ,  関東化学株式会社
代理人 (1件)： 河村 洌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-224701
公開番号（公開出願番号）：特開平11-060211
出願日： 1997年08月21日
公開日（公表日）： 1999年03月02日
要約：

【要約】【課題】 周期表2族の元素を含有するPZTやPLZT膜などの強誘電体膜を形成する場合にも、結晶の析出やゲル化が生じなく、さらに溶液粘度の経時変化も小さい安定な強誘電体膜形成用溶液を提供する。【解決手段】 有機溶媒に強誘電体を構成する金属の有機金属化合物が溶解されてなる溶液中に、アセチルアセトンおよび硝酸水溶液が含有せしめられて、強誘電体膜形成用溶液が形成されている。この溶液を基板上に塗布し、乾燥して焼結することにより、強誘電体膜を得る。

請求項（抜粋）：

有機溶媒と強誘電体を構成する金属の有機金属化合物とから調製される溶液中に、アセチルアセトンおよび硝酸水溶液が含有せしめられてなる強誘電体膜形成用溶液。

IPC (2件)：

C01B 13/14 ,  H01B 3/12 301

FI (2件)：

C01B 13/14 Z ,  H01B 3/12 301

引用特許：

審査官引用 (2件)

• チタン酸系強誘電体膜形成用組成物と形成法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-181482   出願人：三菱マテリアル株式会社
• 特開平1-260870