自動焦点調節機構を備えた光学装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人湘洋内外特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-358788
公開番号（公開出願番号）：特開2007-163738
出願日： 2005年12月13日
公開日（公表日）： 2007年06月28日
要約：

【課題】外部に放射されるパワーを一定以下に保ちながら、対物レンズの瞳に入射させるレーザ光もパワーを落とさずに一定に入射させる技術を提供。【解決手段】レーザ光源21と対物レンズ14の間に、NDフィルタ31bと開口絞り31aとを組み合わせた絞りフィルタ組立体30を介在させる。これにより、レーザ光源21のパワーを一定にしたまま、NDフィルタ31bでレーザ光量を調節し、絞り31aでレーザ光束を対物レンズ14の瞳径に合わせてレーザ光を入射させる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

自動焦点調節用のレーザ光源からの光束が対物レンズを介して試料面に照射される光学装置において、開口絞りとNDフィルタとを組み合わせた絞りフィルタ組立体を有し、前記絞りフィルタ組立体は、前記レーザ光源からの光束を、前記開口絞りを通して、対物レンズに導く位置に配置され前記NDフィルタは、前記対物レンズに導かれる光束が、該対物レンズが観察位置から外れた状態で外部に放射される際に、該放射される光束のパワーが、予め定めた値以下となる透過率を有することを特徴とする光学装置。

IPC (2件)：

G02B 7/28 , G02B 21/06

FI (2件)：

G02B7/11 H , G02B21/06

Fターム (6件)：

2H051AA11 , 2H051CC02 , 2H052AC34 , 2H052AD09 , 2H052AD34 , 2H052AD35

引用特許：

出願人引用 (3件)

特許第2568513号公報
特許第2795483号公報
特許第3648914号公報

審査官引用 (4件)

顕微鏡フォーカス維持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-342088 出願人：オリンパス株式会社
焦点検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-112388 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開昭59-177507

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