特許
J-GLOBAL ID：200903096263370476
多層ガラス・セラミック基板の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-176253
公開番号（公開出願番号）：特開平10-075060
出願日： 1997年07月02日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、多層ガラス・セラミック基板が焼成時に平面方向に収縮せず、厚み方向だけ収縮する多層ガラス・セラミック基板を得ることを目的とする。【解決手段】 内部に導体または、導体およびコンデンサが形成された多層ガラス・セラミック基板グリーン積層体の最上層および最下層に、石英、クリストバライトおよびトリジマイトの少なくとも1種を含む組成物からなるグリーンシート、または焼結助剤を含有する前記組成物からなるグリーンシート、またはガラス・セラミック材料の焼成温度で焼結するトリジマイトと焼成温度で焼結しない酸化物を含む組成物からなるグリーンシートを搭載して積層体を形成し、これを焼成する。しかる後に両面の組成物を取り除くことにより平面方向に収縮しない多層ガラス・セラミック基板を得るものである。
請求項（抜粋）：
内部に導体、または導体およびコンデンサが形成された多層ガラス・セラミック基板の製造方法であって、焼成前の多層ガラス・セラミック基板の両面に、石英、クリストバライトおよびトリジマイトの少なくとも一種を含む組成物からなるグリーンシートを搭載して積層体を形成し、これを焼成することを特徴とする多層ガラス・セラミック基板の製造方法。
FI (3件)：
H05K 3/46 H
, H05K 3/46 Q
, H05K 3/46 T
