特許

J-GLOBAL ID：200903096266048354

半導体露光装置

発明者： 中野 一志
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-178565
公開番号（公開出願番号）：特開平7-130613
出願日： 1993年06月28日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：

【要約】【目的】 チャンバ内に取り込まれるガス状化学物質を除去する。【構成】 露光装置本体と、これが内部に配置されたチャンバ1と、このチャンバの空調を行う空調機室10とを備えた半導体露光装置において、前記空調機室を経てチャンバに供給される空気の通る経路上に、その空気に含まれるガス状化学物質を除去する装置cfを設ける。

請求項（抜粋）：

露光装置本体と、これが内部に配置されたチャンバと、このチャンバの空調を行う空調機室とを備えた半導体露光装置において、前記空調機室を経てチャンバに供給される空気の通る経路上に、その空気に含まれるガス状化学物質を除去する装置を設けたことを特徴とする半導体露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 514 E ,  H01L 21/30 502 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-139453
  
• 特開昭62-181426
  
• 特開平3-129720
  
• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-002956   出願人：株式会社ニコン