半導体基板用搬送ボックス

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：吉嶺桂 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-067625
公開番号（公開出願番号）：特開平11-217119
出願日： 1998年03月04日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：

【要約】【課題】実用上効果的な微粒子及びガス状有害成分の除去機能を有する半導体基板用搬送ボックスを提供する。【解決手段】半導体を出入できる開閉機構を有する半導体基板用搬送ボックス21において、該ボックス21には、ボックス内を清浄化するための光照射による光電子及び光触媒を用いる気体清浄化装置A-2、又は、該装置に電力を供給するバッテリー搭載充電機能付き電源装置を一体化した気体清浄化ユニットを有することを特徴とする半導体基板用搬送ボックスとしたものであり、前記気体清浄化装置には、光照射のための紫外線源27と、光電子放出のための光電子放出材29及び光触媒28を備え、電源装置を一体化した場合は、電源装置における発熱を気体清浄化装置に伝えるための放熱体を備えるのが良く、また、前記搬送ボックスは、材料を合成樹脂製とすることができる。

請求項（抜粋）：

半導体基板を出入できる開閉機構を有する半導体基板用搬送ボックスにおいて、該ボックスには、ボックス内を清浄化するための光照射による光電子及び/又は光触媒を用いる気体清浄化装置を一体化した気体清浄化ユニットを有することを特徴とする半導体基板用搬送ボックス。

IPC (2件)：

B65G 49/00 , B65G 49/07

FI (2件)：

B65G 49/00 A , B65G 49/07

引用特許：

出願人引用 (8件)

ストッカ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-062544 出願人：株式会社荏原総合研究所
特開平1-266864
特開平4-179146

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審査官引用 (3件)

ストッカ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-062544 出願人：株式会社荏原総合研究所
特開平1-266864
特開平4-179146

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