特許
J-GLOBAL ID：200903096286121244
固体撮像装置とその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-176958
公開番号（公開出願番号）：特開平10-022487
出願日： 1996年07月08日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：
【要約】【課題】 レンズ素子(マイクロレンズ)14を有する固体撮像素子を樹脂で封止した固体撮像装置において、感度の向上を図る。【解決手段】 レンズ素子14上に該レンズ素子の材料よりも屈折率の低い透明膜15を形成し、該各レンズ素子14の頂部を平坦化する。【効果】 平坦化された頂部に入射した光は斜めの光であっても受光部に入射されるので、入射角度の大きな光の感度低下をすくなくすることができる。
請求項（抜粋）：
半導体基板の上部に形成された固体撮像素子の各受光部上方にレンズ素子が形成された固体撮像装置において、上記レンズ素子上に該レンズ素子の材料よりも屈折率の低い透明膜が形成され、上記各レンズ素子の頂部が平坦化されてなることを特徴とする固体撮像装置。
IPC (4件)：
H01L 27/14
, G02B 3/00
, H01L 31/02
, H04N 5/335
H01L 27/14 D
, G02B 3/00 A
, H04N 5/335 V
, H01L 31/02 B
