特許
J-GLOBAL ID：200903096291661494
多結晶シリコンの破砕方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
生形 元重 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-193860
公開番号（公開出願番号）：特開平10-015422
出願日： 1996年07月03日
公開日（公表日）： 1998年01月20日
要約：
【要約】【課題】 CZ法による単結晶シリコンの製造原料として使用される塊状の多結晶シリコンを効率的に生産する。その生産に伴うロスの発生を抑える。【解決手段】 気相析出により製造された棒状の多結晶シリコン10を400〜800°Cに加熱した後、100°C以下まで急冷し、多結晶シリコン10の内部にクラックを発生させる。その多結晶シリコン10をプレス機により破砕する。プレス機の加圧面に突起7を設け、破砕に必要な加圧力を更に低下させる。
請求項（抜粋）：
棒状の多結晶シリコンを400〜800°Cに加熱し、100°C以下に急冷した後、プレス機にて破砕することを特徴とする多結晶シリコンの破砕方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B02C 19/18 E
, B02C 19/12 Z
