特許
J-GLOBAL ID：200903096294766246

機能性多層膜

発明者：
染野 義博

染野 義博 について

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後藤 孝

後藤 孝 について

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増本 博

増本 博 について


出願人/特許権者：
アルプス電気株式会社

アルプス電気株式会社 について

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後藤 孝

後藤 孝 について

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増本 博

増本 博 について


代理人 (1件)： 村田 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-279110
公開番号（公開出願番号）：特開2004-117665
出願日： 2002年09月25日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：
【課題】膜厚方向の金属微粒子配列に規則性を持たせることが可能で、かつ金属微粒子の誘電体中における分散密度を高めることのできる機能性多層膜を提供する。【解決手段】多数の金属微粒子4を誘電体からなるマトリックス1に固定してなる機能性膜であって、上記マトリックス1は所定の厚さに成膜される誘電体薄膜2と該誘電体薄膜2の膜面3上に分散配置される上記金属微粒子4とからなる金属分散薄膜5を積層してなり、上記各金属分散薄膜5の間に、上記誘電体薄膜2よりも金属の拡散速度の遅い材質からなるバリア膜6を成膜してなる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
多数の金属微粒子を誘電体からなるマトリックスに固定してなる機能性膜であって、 上記マトリックスは所定の厚さに成膜される誘電体薄膜と該誘電体薄膜の膜面上に分散配置される上記金属微粒子とからなる金属分散薄膜を積層してなることを特徴とする機能性多層膜。
IPC (3件)：
G02F1/01 ,  G02B5/28 ,  G02F1/355
FI (4件)：
G02F1/01 F ,  G02F1/01 A ,  G02B5/28 ,  G02F1/355 501
Fターム (19件)：
2H048GA03 ,  2H048GA04 ,  2H048GA11 ,  2H048GA32 ,  2H048GA60 ,  2H048GA62 ,  2H079AA02 ,  2H079AA12 ,  2H079AA13 ,  2H079AA14 ,  2H079BA01 ,  2H079DA02 ,  2K002AB34 ,  2K002BA06 ,  2K002CA02 ,  2K002DA04 ,  2K002EA08 ,  2K002EA14 ,  2K002HA01
引用特許：
審査官引用 (4件)
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