特許
J-GLOBAL ID：200903096303971710
物品保持装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-043868
公開番号（公開出願番号）：特開平9-237824
出願日： 1996年02月29日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：
【要約】【課題】物品との当接面における摩耗を低減するとともに、物品への塵や摩耗粉等の異物の付着量を低減する。また、当接面に帯電する静電気を速やかに除去できるようにする。【解決手段】少なくとも保持面がセラミックスからなる真空チャック、搬送アーム、サセプタなどの物品保持装置において、上記保持面にジルコニウム、タングステン、チタンのうち一種以上の金属および珪素を含有する非晶質硬質炭素膜を被覆する。
請求項（抜粋）：
少なくとも物品を吸着または載置して保持する保持面がセラミックスからなる物品保持装置において、上記保持面にジルコニウム、タングステン、チタンのうち一種以上の金属および珪素を含有してなる非晶質硬質炭素膜を被覆したことを特徴とする物品保持装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25B 11/00
, B25J 15/06
H01L 21/68 N
, B25B 11/00 A
, B25J 15/06 D
