特許
J-GLOBAL ID:200903096311179120

走査型光学顕微鏡

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (7件): 韮澤 弘 ,  阿部 龍吉 ,  蛭川 昌信 ,  内田 亘彦 ,  菅井 英雄 ,  青木 健二 ,  米澤 明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-292640
公開番号(公開出願番号):特開2006-106337
出願日: 2004年10月05日
公開日(公表日): 2006年04月20日
要約:
【課題】 観察に用いる対物レンズに最適な位置に光束走査手段を配置し、さらにその影響で発生する収差も補正することも可能な走査型光学顕微鏡。【解決手段】 光源11から発する照明光に任意の波面変換を与える波面変換素子24と、波面変換後の照明光を互いに直交する方向に走査する光束走査手段3と、光束走査手段によって進行方向を変えた照明光を対物レンズ6に導く瞳投影レンズ4及び結像レンズ5と、照明光を物体に集光する対物レンズ6と、物体から発する信号光を検出する検出器53とを備え、瞳投影レンズ及び結像レンズ中の少なくとも1つのレンズを移動させるための駆動機構を備え、その駆動機構によりレンズを移動させて光束走査手段3と対物レンズの瞳6との位置関係を最適位置に制御し、波面変換素子24によって対物レンズ6から集光する照明光の波面を補正するようにした走査型光学顕微鏡。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
光源と、前記光源から発する照明光に任意の波面変換を与える波面変換素子と、前記波面変換素子から発する波面変換後の照明光を互いに直交する方向に走査する光束走査手段と、前記光束走査手段によって進行方向を変えた照明光を対物レンズに導く瞳投影レンズ及び結像レンズと、照明光を物体に集光する対物レンズと、物体から発する信号光を検出する検出器とを備え、前記瞳投影レンズ及び前記結像レンズ中の少なくとも1つのレンズを移動させるための駆動機構を備え、前記駆動機構により前記レンズを移動させて前記光束走査手段と前記対物レンズの瞳との位置関係を最適位置に制御し、前記波面変換素子によって前記対物レンズから集光する照明光の波面を補正するようにしたことを特徴とする走査型光学顕微鏡。
IPC (2件):
G02B 21/00 ,  G02B 26/06
FI (2件):
G02B21/00 ,  G02B26/06
Fターム (9件):
2H041AA23 ,  2H041AB14 ,  2H041AB38 ,  2H052AA07 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC18 ,  2H052AC27 ,  2H052AC34
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 走査型光学顕微鏡
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2002-268694   出願人:オリンパス株式会社
  • 光学制御装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平11-101467   出願人:松下電器産業株式会社

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