特許
J-GLOBAL ID：200903096331571361

金属膜の製造方法及び金属膜の製造装置

発明者：
長谷井 宏宣

長谷井 宏宣 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-081213
公開番号（公開出願番号）：特開2003-283102
出願日： 2002年03月22日
公開日（公表日）： 2003年10月03日
要約：
【要約】【課題】 液滴吐出法を用いて配線パターンなどの金属膜を形成する際、スループットの低下を招かずに効率良く金属膜を形成できる金属膜の製造方法及び金属膜の製造装置を提供する。【解決手段】 基板Pに対して液滴吐出ヘッド20から金属を含むインクを吐出して基板Pに配線パターンを形成する際、金属固形分含有量が50wt%以上70wt%以下に設定されているインクを用いる。
請求項（抜粋）：
所定面に対して液滴吐出ヘッドから金属を含む流動体を吐出して前記所定面に金属膜を形成する工程を有する金属膜の製造方法において、前記流動体に含まれる前記金属の量を50wt%以上70wt%以下に設定し、該流動体を前記所定面に吐出することを特徴とする金属膜の製造方法。
IPC (10件)：
H05K 3/10 ,  B05C 5/00 101 ,  B05C 9/14 ,  B05D 1/26 ,  B05D 5/12 ,  H01B 13/00 503 ,  H01L 21/288 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 ,  H05B 33/26
FI (10件)：
H05K 3/10 D ,  B05C 5/00 101 ,  B05C 9/14 ,  B05D 1/26 Z ,  B05D 5/12 B ,  H01B 13/00 503 D ,  H01L 21/288 Z ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A ,  H05B 33/26 Z
Fターム (66件)：
3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA00 ,  4D075AC06 ,  4D075AC08 ,  4D075AC96 ,  4D075BB22X ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DB14 ,  4D075DC18 ,  4D075DC22 ,  4D075EA10 ,  4D075EA14 ,  4D075EB01 ,  4D075EC30 ,  4D075EC54 ,  4F041AA06 ,  4F041AB01 ,  4F041AB05 ,  4F041BA10 ,  4F041BA22 ,  4F041BA32 ,  4F041BA38 ,  4F041BA48 ,  4F042AA07 ,  4F042AB03 ,  4F042BA15 ,  4F042BA16 ,  4F042CB11 ,  4F042DF09 ,  4M104BB01 ,  4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB06 ,  4M104BB07 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104BB17 ,  4M104BB18 ,  4M104BB36 ,  4M104DD51 ,  5E343AA12 ,  5E343AA26 ,  5E343AA34 ,  5E343BB23 ,  5E343BB24 ,  5E343BB25 ,  5E343BB28 ,  5E343BB34 ,  5E343BB35 ,  5E343BB40 ,  5E343BB44 ,  5E343BB45 ,  5E343BB48 ,  5E343BB49 ,  5E343BB72 ,  5E343DD14 ,  5E343DD15 ,  5E343FF05 ,  5E343GG06 ,  5E343GG11 ,  5G323CA05
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • 特開昭64-064290
  • 吐出式描画装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-007294   出願人：松下電器産業株式会社
  • 液滴噴射装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-035309   出願人：日本電気株式会社

前のページに戻る

TOP

BOTTOM