位置ずれ検出方法及び位置ずれ検出装置並びに画像処理方法及び画像処理装置とそれを用いた検査装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：家入健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-307421
公開番号（公開出願番号）：特開2004-145466
出願日： 2002年10月22日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：

【課題】画像間の位置ずれを高速かつ精度よく検出することができる位置ずれ検出方法及び位置ずれ検出装置並びにこれを利用した画像処理方法、画像処理装置、検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明にかかる位置ずれ検出方法は第1の画像データと第2の画像データとの間の位置ずれ量を検出する位置ずれ検出方法である。画像データから得られた1次元データをフーリエ変換する(ステップS6)。その結果に基づき、少なくとも1つ以上の周波数を抽出し(ステップS7)、その周波数における位相を算出する(ステップS8)。さらに算出された位相と第2の画像データの周波数における位相との差に基づき、画像間の位置ずれ量を求める(ステップ9)【選択図】図3

請求項（抜粋）：

第1の画像データと第2の画像データとの間の位置ずれ量を検出する位置ずれ検出方法であって、 (a)前記画像データから得られた1次元データをフーリエ変換するステップと、 (b)前記ステップ(a)の結果に基づき、少なくとも1つ以上の周波数における位相を求めるステップと、 (c)前記ステップ(b)において求められた位相と前記第2の画像データの前記周波数における位相との差に基づき、画像間の位置ずれ量を求めるステップを有する位置ずれ検出方法。

IPC (6件)：

G06T7/00 , G01N21/956 , G03F1/08 , G06T1/00 , G06T7/60 , H01L21/66

FI (6件)：

G06T7/00 300H , G01N21/956 Z , G03F1/08 S , G06T1/00 305C , G06T7/60 150B , H01L21/66 J

Fターム (31件)：

2G051AA56 , 2G051AA61 , 2G051AA65 , 2G051AB20 , 2G051CA03 , 2G051EA08 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EA30 , 2G051EC04 , 2H095BB31 , 2H095BD04 , 2H095BD24 , 2H095BD27 , 4M106AA01 , 4M106CA39 , 4M106CA41 , 4M106CA50 , 4M106DB04 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057DA07 , 5B057DB02 , 5B057DC30 , 5L096BA03 , 5L096CA02 , 5L096FA23 , 5L096FA69 , 5L096HA07

引用特許：

審査官引用 (3件)

特表平1-500238
位置検出装置及びそれを用いた半導体素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-176280 出願人：キヤノン株式会社
LSI画像位置ずれ算出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-125059 出願人：日本電気株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

縦ステレオ法による前方車間距離計測システムの開発

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