セラミックス積層圧電体素子の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：岩根正敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-034309
公開番号（公開出願番号）：特開平8-213667
出願日： 1995年01月31日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：

【要約】【目的】分極工程の際の位置合わせが容易で、しかも反り修正工程を行なわなくても平面度の高い素子を製造することが可能なセラミックス積層圧電体素子の製造方法を提供すること。【構成】電極及び層間配線が形成された複数枚のグリーンシートを所定の順番で積層し、該積層体を焼成して一体化させた後、得られた焼結体をその内部に存在する上記電極及び層間配線と導通する表面電極を利用して分極し、その後製品形状に加工するセラミックス積層圧電体素子の製造方法とした。

請求項（抜粋）：

電極及び層間配線が形成された複数枚のグリーンシートを所定の順番で積層し、該積層体を焼成して一体化させた後、得られた焼結体をその内部に存在する上記電極及び層間配線と導通する表面電極を利用して分極し、その後製品形状に加工することを特徴とする、セラミックス積層圧電体素子の製造方法。

FI (2件)：

H01L 41/22 Z , H01L 41/22 B

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平2-079482
積層型超音波モータ用素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-335586 出願人：日本セメント株式会社
特開昭57-103378

全件表示

審査官引用 (7件)

特開平2-079482
特開平2-079482
積層型超音波モータ用素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-335586 出願人：日本セメント株式会社

全件表示

前のページに戻る