特許
J-GLOBAL ID:200903096476193799
感光性樹脂組成物
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大谷 保
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-257390
公開番号(公開出願番号):特開2008-076860
出願日: 2006年09月22日
公開日(公表日): 2008年04月03日
要約:
【課題】フォトリソグラフ工程に使用できる現像特性を有した上、密着性、耐熱性、透明性にも優れた硬化塗膜を形成しうる感光性樹脂組成物を提供することを課題とする。【解決手段】ポリマー成分(A)と光重合性モノマー(B)とを含有してなる感光性樹脂組成物であって、ポリマー成分(A)が、下記化学式(1)で示される化合物(a-1)を必須とする単量体成分を含有してなる重合体である感光性樹脂組成物である。(式(1)中のX及びYはそれぞれ独立して、水素原子又は直鎖又は分岐していてもよい炭素数1〜4の炭化水素基を示し、R1及びR2はそれぞれ独立して水素原子、置換基を有していてもよい炭素数1〜20の炭化水素基又はカルボキシル基であって、R1及びR2を結ぶ環状構造をとっていてもよい。)【選択図】なし
請求項(抜粋):
ポリマー成分(A)と光重合性モノマー(B)とを含有してなる感光性樹脂組成物であって、ポリマー成分(A)が、下記化学式(1)で示される化合物(a-1)を必須とする単量体成分を含有してなる重合体であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (4件):
G03F 7/033
, G03F 7/027
, C08F 290/12
, G02B 5/20
FI (4件):
G03F7/033
, G03F7/027 515
, C08F290/12
, G02B5/20 101
Fターム (75件):
2H025AA10
, 2H025AA14
, 2H025AB13
, 2H025AB15
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025BC74
, 2H025BC85
, 2H025BC86
, 2H025BC92
, 2H025CA00
, 2H025CB08
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CB42
, 2H025CB55
, 2H025CB56
, 2H025FA17
, 2H048BA11
, 2H048BA43
, 2H048BA45
, 2H048BA48
, 4J127AA03
, 4J127BA061
, 4J127BB041
, 4J127BB071
, 4J127BB081
, 4J127BB221
, 4J127BB281
, 4J127BB301
, 4J127BC021
, 4J127BC031
, 4J127BC151
, 4J127BD061
, 4J127BD201
, 4J127BE11X
, 4J127BE11Y
, 4J127BE111
, 4J127BE17X
, 4J127BE17Y
, 4J127BE171
, 4J127BE31X
, 4J127BE31Y
, 4J127BE31Z
, 4J127BE311
, 4J127BE34X
, 4J127BE34Y
, 4J127BE34Z
, 4J127BE341
, 4J127BE41Z
, 4J127BE411
, 4J127BG05X
, 4J127BG05Y
, 4J127BG051
, 4J127BG10Y
, 4J127BG10Z
, 4J127BG101
, 4J127BG16X
, 4J127BG16Z
, 4J127BG161
, 4J127BG17X
, 4J127BG17Y
, 4J127BG17Z
, 4J127BG171
, 4J127CB371
, 4J127FA08
, 4J127FA12
, 4J127FA14
, 4J127FA17
, 4J127FA18
, 4J127FA30
引用特許:
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