特許

J-GLOBAL ID：200903096489090239

圧電振動子

発明者： 荒武 潔 ,  富山 光男
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-023083
公開番号（公開出願番号）：特開2000-223994
出願日： 1999年01月29日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】【課題】 振動特性の信頼性を向上した圧電振動子を提供する。【解決手段】 一端部が容器12に固定されると共に当該容器12内に気密封止される圧電振動片11と、当該圧電振動片11の表裏両面及び側面にそれぞれ独立して設けられると共に外部端子を接続する接続部30を有する励振電極膜17とを具備する圧電振動子において、前記励振電極膜17がCr膜のみをパターニングして形成し、且つ前記接続部30以外の部分には、SiO2膜を設ける。

請求項（抜粋）：

一端部が容器に固定されると共に当該容器内に気密封止される圧電振動片と、当該圧電振動片の表裏両面及び側面にそれぞれ独立して設けられると共に外部端子を接続する接続部を有する励振電極膜とを具備する圧電振動子において、前記励振電極膜がCr膜のみをパターニングして形成されたものであり、且つ前記接続部以外の部分には、SiO2膜が設けられていることを特徴とする圧電振動子。

IPC (2件)：

H03H 9/19 ,  H03H 9/10

FI (2件)：

H03H 9/19 A ,  H03H 9/10

Fターム (12件)：

5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE19 ,  5J108FF03 ,  5J108FF05 ,  5J108FF08 ,  5J108GG03 ,  5J108GG08 ,  5J108KK02

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 水晶発振片
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-291660   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 水晶振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-102142   出願人：シチズン時計株式会社
• 水晶振動子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-023079   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社