特許
J-GLOBAL ID：200903096510063115
浮上搬送ユニット
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-182065
公開番号（公開出願番号）：特開2008-007319
出願日： 2006年06月30日
公開日（公表日）： 2008年01月17日
要約：
【課題】ガラス基板に反りを発生させずに浮上させ搬送させる浮上ユニットを得ることを課題とする。【解決手段】コンプレッサーでチャンバー36の気密空間に空気を供給すると、天井壁に形成されたサークル溝部66と格子溝部68の溝底を貫通した通気孔72,74から空気が噴出する。天井壁には多孔質板76が固定されているので、空気は溝部を伝いながら、多孔質板76の下面に均等に行き渡り、多孔質板76の空隙から噴出する。つまり、多孔質板76の全面から空気が噴出して、多孔質板76の全面がエアベアリング面となるため、ガラス基板Pに反りを発生させずに浮上させて、搬送することが可能となる。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
気密空間を備えたチャンバーと、
前記チャンバーの天井壁に形成された溝部と、
前記溝部の溝底を貫通し前記気密空間と連通する通気孔と、
前記天井壁に固定された多孔質板と、
前記気密空間に気体を供給し前記通気孔を通じて前記多孔質板の空隙から気体を噴出させる気体供給手段と、
を有することを特徴とする浮上搬送ユニット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B65G49/06 Z
, B65G51/03 A
出願人引用 (8件)
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浮上ユニット及び基板検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-126464
出願人：オリンパス株式会社
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特開昭63-273781
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特開昭63-134549
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審査官引用 (9件)
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