特許
J-GLOBAL ID：200903035511966560

浮上ユニット及び基板検査装置

発明者：
安田 守

安田 守 について


出願人/特許権者：
オリンパス株式会社

オリンパス株式会社 について


代理人 (4件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  村松 貞男 ,  風間 鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-126464
公開番号（公開出願番号）：特開2004-331265
出願日： 2003年05月01日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：
【課題】ガラス基板を平面状に矯正すること。【解決手段】エアーを吹上げてガラス基板24をエアー浮上させる浮上ブロック2、3に隣接して、浮上ブロック2、3よりも低く、エアー吸引孔17を設けた溝底部15の外周縁の全周に亘ってパッド壁16を設けて長方形状のパッド溝を有する吸引ブロック4を設けた。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
エアーを吹き出して基板を浮上させる浮上ブロックと、 この浮上ブロックに隣接して設けられ、窪みを有する長方形状又は楕円形状でかつ上面位置が前記浮上ブロックの上面位置よりも低く形成され、前記窪みの開口側全面からエアー吸引を行って前記基板を非接触で引き込む吸引ブロックと、を具備したことを特徴とする浮上ユニット。
IPC (5件)：
B65G51/03 ,  B65G7/06 ,  B65G49/06 ,  G01N21/84 ,  G01N21/958
FI (5件)：
B65G51/03 Z ,  B65G7/06 C ,  B65G49/06 Z ,  G01N21/84 C ,  G01N21/958
Fターム (7件)：
2G051AA84 ,  2G051AA90 ,  2G051BB19 ,  2G051CA11 ,  2G051CC20 ,  2G051DA01 ,  2G051DA20
引用特許：
審査官引用 (4件)
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